作者：Long Pham和Anthony DeSimone
简介
高性能MEMS加速度计为各种集成惯性测量的应用提供低成本解决方案。具体例子包括：导航和AHRS系统，用于机器健康状况检测的振动监控，基础设施的结构健康状况监控，以及用于平台稳定、井下定向钻探的倾斜监控、施工行业平路机和勘测设备的调平、吊车稳定系统吊杆倾角测量的高精度倾角计。在大多数此类例子中，加速度计会经受不同幅度的振动。这些应用的另一个不同方面是振动的频率成分。振动与传感器和系统误差源相结合可能导致振动校正，这是高性能加速度计的一个重要指标。本文说明MEMS加速度计中的振动校正是如何发生的，并讨论各种测量此参数的技术。作为案例研究，本文会讨论低噪声、低功耗加速度计ADXL355的振动校正。低振动校正误差以及所有其他特性，使这款器件成为上述精密应用的理想之选。
振动校正的来源
振动校正误差(VRE)是加速度计对交流振动（被整流为直流）的响应，表现为加速度计失调的异常偏移。在倾角计等应用中，这是一个重大误差源，因为加速度计的直流输出是目标信号，失调的任何改变都可能被错误地解读为倾角变化，导致误差一路向下传递，从而引起安全系统误触发、平台稳定或钻桅对准机制过度补偿等。
VRE高度依赖于加速度计所经受的振动特性曲线，不同应用施加于加速度计的振动模式会不同，因而VRE可能不同。振动校正有多种发生机制，本文讨论其中的两种。
非对称轨
第一种机制是非对称轨。重力产生一个静态1 g (9.8 m/s2)加速度场，当加速度计敏感轴竖直对齐时，其测量范围会有一个偏移。2 g满量程范围的传感器与重力加速度对齐时，将只能测量1 g峰值振动，否则响应会被削波。超过1 g的对称激励信号的平均值将不为零，原因是在经受额外1 g加速度的方向上，电平会被削波。
